半導(dǎo)體行業(yè)作為信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心，其制造過(guò)程對(duì)環(huán)境參數(shù)的控制精度達(dá)到微米級(jí)，溫度作為貫穿晶圓制造、封裝測(cè)試全流程的關(guān)鍵變量，直接決定芯片良率與性能穩(wěn)定性。BECKHOFF EL3204作為一款4通道電阻式溫度傳感器（RTD）輸入EtherCAT端子模塊，憑借16位高分辨率、多通道同步采集、強(qiáng)抗干擾能力等技術(shù)特性。

BECKHOFF EL2004

倍福EL2008

倍福EL3318

現(xiàn)貨BECKHOFF EL4001

EL3002

EL3312

EL3004

EL3008模塊

在薄膜沉積設(shè)備（如CVD、PVD）中，EL3204模塊的靈活配置與高可靠性展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢(shì)。化學(xué)氣相沉積過(guò)程中，反應(yīng)腔體內(nèi)的溫度分布直接決定薄膜的結(jié)晶度與致密性，不同沉積階段對(duì)溫度的要求差異極大，從低溫沉積的150℃到高溫退火的800℃均有涉及。EL3204支持-200℃至+850℃的寬測(cè)量范圍，可適配沉積過(guò)程全溫度段的監(jiān)測(cè)需求，其通道獨(dú)立配置功能允許針對(duì)不同監(jiān)測(cè)點(diǎn)位設(shè)置不同的濾波參數(shù)——對(duì)反應(yīng)腔壁溫度采用800ms慢濾波以穩(wěn)定數(shù)據(jù)，對(duì)加熱電極溫度采用2ms快濾波以保證響應(yīng)速度，實(shí)現(xiàn)監(jiān)測(cè)精度與實(shí)時(shí)性的平衡。模塊內(nèi)置的FIR濾波器可有效濾除真空泵、射頻電源等設(shè)備產(chǎn)生的高頻干擾，確保在復(fù)雜電磁環(huán)境下仍能穩(wěn)定采集數(shù)據(jù)，為沉積工藝的閉環(huán)控制提供可靠依據(jù)，助力實(shí)現(xiàn)薄膜厚度偏差小于5%的高精度制造目標(biāo)。

半導(dǎo)體封裝測(cè)試環(huán)節(jié)中，EL3204模塊的緊湊設(shè)計(jì)與多通道集成特性降低了設(shè)備集成成本，提升了測(cè)試效率。在芯片老化測(cè)試設(shè)備中，需同時(shí)監(jiān)測(cè)多個(gè)測(cè)試工位的環(huán)境溫度與芯片結(jié)溫，傳統(tǒng)單通道或雙通道模塊需大量堆疊，不僅占用控制柜空間，還增加了布線復(fù)雜度與故障點(diǎn)。EL3204僅12mm的寬度可在35mm DIN導(dǎo)軌上密集安裝，4路通道可同時(shí)監(jiān)測(cè)2個(gè)測(cè)試工位的芯片表面溫度與對(duì)應(yīng)的加熱腔溫度，通過(guò)EtherCAT的分布式時(shí)鐘功能，實(shí)現(xiàn)多模塊間的同步采集，確保不同工位溫度數(shù)據(jù)的可比性。在芯片焊錫封裝過(guò)程中，模塊可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)焊錫膏熔點(diǎn)溫度與焊接區(qū)域溫度，當(dāng)溫度達(dá)到217℃的焊錫熔點(diǎn)時(shí)，及時(shí)反饋主控制器觸發(fā)焊接動(dòng)作，避免因溫度不足導(dǎo)致的虛焊或溫度過(guò)高造成的芯片損壞，提升封裝良率至99.5%以上。

EL3204模塊在半導(dǎo)體行業(yè)的深度應(yīng)用，還得益于其與倍福自動(dòng)化系統(tǒng)的無(wú)縫集成能力。通過(guò)TwinCAT軟件，可便捷地對(duì)模塊進(jìn)行參數(shù)配置、校準(zhǔn)與診斷，其支持的PROFIBUS DP、Modbus TCP等多種通信協(xié)議轉(zhuǎn)換功能，能適配不同品牌的半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)。模塊的診斷功能可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)傳感器斷線、短路等故障，并通過(guò)LED指示燈與軟件報(bào)警雙重提示，縮短故障排查時(shí)間，保障半導(dǎo)體生產(chǎn)線24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行。此外，其IP20防護(hù)等級(jí)與聚碳酸脂阻燃外殼，能適應(yīng)半導(dǎo)體潔凈車間的嚴(yán)苛環(huán)境要求，避免粉塵、腐蝕性氣體對(duì)模塊的損害。

隨著半導(dǎo)體芯片向7nm及以下制程突破，對(duì)溫度監(jiān)測(cè)的精度、實(shí)時(shí)性與可靠性提出了更高要求。

EL1004

EL2004

EL3002

EL3004

EL3314

EL3318

EL4002

EL4004

EL4404